なぜ、グリーン半導体の硬化処理に金メッキされた赤外線ランプを使用するのか？
半導体業界では、鉛やVOCを含まない硬化処理が求められています。それは単に規則に従うだけではなく、プロセス全体をより効率的にするためです。問題は、従来の対流式オーブンがエネルギーを多く消費する点です。わずかな部品を温めるために、チャンバー内の空気を加熱するのに膨大な時間がかかってしまいます。
そこで、私たちは金メッキされた短波長赤外線ランプを使用します。このランプは、空気と戦う代わりに、直接基板上に熱を照射します。これにより、効率的に熱を供給できます。
金メッキの利点
一般的なクォーツランプは、熱をあちこちに放出します。クリーンルームでは、機械のフレームやウェハーホルダーがその熱を吸収してしまうのは問題です。これを解決するために、クォーツに薄い金の層を施します。これはまるでハイテクな鏡のようで、長波長の熱を目的の場所に反射させ、ビームを集中させます。そうすることで、周辺の機器に無駄なエネルギーを使わず、すべてのエネルギーを適切な場所に送り込むことができます。
最適な温度の維持
鉛フリーのはんだや接着剤を使用する場合、温度管理が非常に重要です。温度が高すぎると、ウェハーや回路が損傷してしまいます。ここで、赤外線ランプの速さが役立ちます。ほんの数ミリ秒で熱を発生させることができます。これはほぼ即時的な反応です。
強制送風式のシステムとは異なり、このランプを使えば、必要な温度範囲内で素早く調整できます。グリーン化学を扱う場合、このような精度がないと、歩留まりを高く保つことはできません。
注意すべき点
もちろん、これは魔法のようなものではありません。高強度の赤外線は、大量の熱を生み出します。金メッキがあっても、ランプの先端は依然として極めて高温になります。そのため、冷却ファンやヒートシンクをしっかりと設置する必要があります。風量が不十分だと、ランプの先端が早く壊れてしまいます。また、配線にも注意が必要です。コネクタが過熱したり溶けたりしないように、適切なものを使用しましょう。ほとんどの場合、これらは簡単に交換できますが、信頼性の高い電源が必要です。電力が不安定だと、硬化処理の品質が低下してしまいます。