クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素にあります。 一般的なIRランプは、シール部分が安価な接着剤や低品質な金属で固定されています...

製造現場において、フォトレジストのベイク処理は「あれば良いもの」ではなく、不可欠な工程です。もしベイクの条件がわずかにずれてしまうだけで、ウェハ上の重要な寸法が変動してしまいます。また、ハードベイク時に均一性が失われると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、そのようなばらつきを抑えるためにセラ...