化学洗浄室で熱を利用する際には、安全を確保することが重要です。率直に言って、赤外線ランプを化学洗浄用の台の真上に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が充満した部屋の中に高温源があるのですから。 標準的な石英管を使用する場合、何か問題が起こるのを待つだけです。わずかなひび割れや配...

シャードの発生を防ぐ：IR加熱装置におけるランプの破損対策 高負荷でウェーハの製造を行っている場合、その恐怖はよくわかるでしょう。1つのランプが破損するだけで、全体の生産ラインが停止してしまいます。問題は単なる停止だけではありません。クォーツの破片や金属片が至る所に散らばり、シリコンウェーハが汚染...

クラス100の環境を常に清潔に保つために クラス100の環境では、わずかなほこりの粒子でさえも大問題です。もし加熱要素から微粒子やガスが放出されていると、それはまるでワッフルをゴミ箱に捨てているようなものです。 通常のコイルや安価なセラミックヒーターでは不十分です。これらはすぐに剥がれたり、漏れた...

はじめに クリーンルーム用のヒーターについて話しましょう。半導体の高度な加工プロセスにおいて、これは単なる加熱装置ではありません。実際には、プロセス全体において不可欠な役割を果たす重要な機器なのです。 私たちは、従来の遅くて非効率的な熱風循環方式を捨て、直接赤外線を利用する方法を採用しました。なぜ...