ウエハ加熱用の安全距離

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう ウェーハ加熱ステーションを設置する際には、シリコンにエネルギーが直接当たるようにしたいのです。ケースの中にエネルギーが漏れ込むのは避けたいのです。 問題は、一般的な赤外線ランプではエネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうことです。狭い半導体製造...