ウェーハ用高精度IRセンサー

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームを運用している場合、ウェハを加熱する際に発生するわずかなほこりや気体の塊は、単なる迷惑どころではありません。それは大惨事につながります。一般的な加熱素子では、このような状況に対応できません。加熱に伴って素子が膨張...