耐久性の高いフォトレジスト焼成ヒーター

製造現場では、フォトレジストの焼成を単に温度で判断するわけではありません。むしろ、稼働時間や粒子数の増加がないか、何千枚ものウェーハ全体でCD値が一定であるかといった点を重視します。もし焼成用ヒーターの性能が低下したり故障したりすると、生産ラインが停止してしまい、製品やエネルギーが無駄になってしま...