パティオヒーターと天井の距離
屋外用ヒーターを早期に故障させないための対策
もし赤外線ヒーターをパティオや半屋外の場所に設置するなら、ヒーターの加熱要素自体が機器の故障の原因になることはほとんどないということを知っておくべきです。実際のところ、問題になるのは湿気、特に結露です。
私たちは、このような状況に耐えられるように最新の...
ウエハ加熱用の安全距離
装置を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう
ウェーハ加熱ステーションを設置する際には、シリコンにエネルギーが直接当たるようにしたいのです。ケースの中にエネルギーが漏れ込むのは避けたいのです。
問題は、一般的な赤外線ランプではエネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうことです。狭い半導体製造...