グローブボックス内を加熱しても爆発しないようにする方法 正直に言うと、可燃性の洗浄溶剤が入ったグローブボックスの中に赤外線ヒーターを入れるのは、非常に危険な行為です。ちょっとした火花や表面温度の急上昇があれば、瞬時に火災が発生してしまいます。通常の石英ランプでは、このような環境では使えません。 私...

お風呂場のヒーターを最適な状態に設定する方法 赤外線ランプの適切なワット数を選ぶのは難しくありませんが、それでも重要です。狭い部屋で過度に高出力のランプを使うと、電気代が無駄になるだけでなく、故障のリスクもあります。逆に出力が低すぎると、寒さで震えることになります。 重要なのは、赤外線は実際には空...

リソグラフィープロセスにおいては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の誤差があっても、CDの位置が変わってしまうことをすぐに理解する必要があります。ハードベイクを過度に高温で行うと、表面に汚れが発生したり、歩留まりが低下したりします。熱制御は単なる調整項目ではなく、オーバーレイや線幅、欠陥の発生率を...

製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃ほどの温度変動があるだけで、良品であったはずのウェーハが廃棄物になってしまいます。ウェーハはそのまま待機状態にあります。スケジュールも乱れ、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、このような損失が発生する前にそれを防ぐための半導体加工用ヒーターを...