レイボルト真空ヒーター予備部品

Role 工場現場において、ソフトベークまたはハードベークでの熱逸脱は歩留まりに微小な影響を与えるだけでなく、致命的な損失をもたらす。Leyboldの真空ヒーターがドリフトし始めると、フォトレジストのプロファイルが崩れ、CD（クリティカルディメンション）の均一性が乱れ、エッチングバイアスが拡大する...