RTPシステム用ハロゲンランプ

ファブフロアでは、サーマルバジェットは単なる提案ではなく契約である。ウェーハ全体で0.5℃の変動があるだけで、クリティカル寸法が変化し、ドーピングプロファイルが乱れ、数時間のリソグラフィ作業が無駄になる。RTPでは、その契約はハロゲンランプで成り立っている。 実際に重要なポイント 短波長の赤外線を...