破片の発生を防ぐ：MEMSウエハーを清潔に保つ MEMS工場では、赤外線ランプが故障することは単なる迷惑事ではありません。それはまさに悪夢です。 重負荷がかかった際に石英管が破損すると、単に動作しなくなるだけでなく、実質的に爆発し、微細なガラス片や金属片がウエハーの表面に飛び散ります。そうなれば、...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームを運用している場合、ウェハを加熱する際に発生するわずかなほこりや気体の塊は、単なる迷惑どころではありません。それは大惨事につながります。一般的な加熱素子では、このような状況に対応できません。加熱に伴って素子が膨張...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために スマートセンサーを梱包する際には、「ほぼ清潔」では不十分です。汚染が一切あってはいけないのです。 問題は、ほとんどの加熱要素がクラス100の環境では厄介な存在だということです。これらの加熱要素からは微粒子が放出され、揮発性有機化合物も漏れ...

方向性赤外線加熱：ウェーハ処理に必要な場所だけを適切に加熱し、オペレーターを傷つけない方法 半導体製造装置における問題点は、単純明快です。それは「不要な熱」の存在です。この不要な熱がエネルギーを奪い、コストを増加させ、装置の外部を危険な状態にしてしまいます。 私たちはこの問題を解決するために赤外線...