半導体処理用ヒーター素子

製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃ほどの温度変動があるだけで、良品であったはずのウェーハが廃棄物になってしまいます。ウェーハはそのまま待機状態にあります。スケジュールも乱れ、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、このような損失が発生する前にそれを防ぐための半導体加工用ヒーターを...