カーボンナノチューブ製造用ヒーター
カーボンナノチューブを作るには、バランスを取る必要があります。正確な温度管理が求められますが、通常は化学的な洗浄処理を行う際にその作業を行います。そこが問題の発生源です。可燃性の蒸気が周囲に漂っており、標準的な赤外線ランプには、露出したフィラメントや電気接点があるからです。
わずかな火花や、表面が...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
不良なランプが全体の製品を台無しにするのを防ごう
バイオセンサーの製造においては、精度が何よりも重要です。しかし、悪夢のような事態も起こり得ます。つまり、1つのランプが壊れるだけで、作ったウェーハ全体が廃棄処分になってしまうのです。これはよくあることです。大量生産を行っていると、そのクォーツ管には...
持続可能なファブ製造ソリューション
揮発性化学物質を加熱する際の安全対策
半導体工場を運営している方なら、その状況はよくご存知でしょう。洗浄工程では、可燃性の溶剤や揮発性の試薬が大量に使用されます。このような環境で、通常の赤外線ランプを使うのは、まさに火災を招く行為です。
これは非常に大きなリスクです。そこで、私たちは異なる方法を採...