半導体製造工場における炭素削減：なぜIR乾燥が効果的なのか 半導体製造工場について言えば、エネルギー代は途方もないほど高額です。その主な原因の一つが乾燥工程です。長年、従来の対流式オーブンを使ってきましたが、カーボンニュートラルを目指すなら、もはやそれでは不十分です。 これは、単にパンフレットを良...

破片の発生を防ぐ：MEMSウエハーを清潔に保つ MEMS工場では、赤外線ランプが故障することは単なる迷惑事ではありません。それはまさに悪夢です。 重負荷がかかった際に石英管が破損すると、単に動作しなくなるだけでなく、実質的に爆発し、微細なガラス片や金属片がウエハーの表面に飛び散ります。そうなれば、...

実際には、はんだマスクの乾燥処理というのは、単なる緩やかな加熱ではありません。それは明確な条件であり、変更の余地がないのです。 1.5℃の温度変動があると、ウエハ全体の厚みが不均一になり、次のリソグラフィ工程が中断されてしまいます。欠陥のない製品を作りたいのであれば、この加熱装置は一定の仕様で動作...

最終洗浄後にウェーハから水分が除去されていく様子を見れば、時間がどれだけ経過しているかがわかります。もし加熱が遅れたり、均一でなかったりすると、すぐに水滴の跡やフォトレジストの剥離、そして歩留まりの低下が起こります。私たちは、このような問題が発生する前にそれを防ぐために、ウェーハ乾燥用の赤外線ヒー...

ファブフロアでのエネルギー管理 乾燥トレインが消費するワット数は、細部にわたって検査されます。エネルギーコストが高くなりすぎて、フォトレジストの完全性に賭けるわけにはいきません。熱的均一性がずれると、ライン幅の制御や欠陥性能が崩壊するのを目の当たりにします。私たちは、プロセスラインをゼロトレランス...