真空状態での赤外線ランプの爆発を防ぐ方法 真空内で赤外線ヒーターを使用すると、物理的な状況が変わってしまいます。通常の空気中では、ランプの周りにあるガスが電流が正しい場所に留まるのを助けてくれます。しかし、真空状態になると、その保護メカニズムはなくなってしまいます。その結果、電気アークが発生するリ...

スマートファブで適切な加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、従来の加熱方法ではもはや不十分だということがお分かりでしょう。従来の抵抗式ヒーターは反応が遅すぎます。生産ライン全体がデジタル化され、超高速で動作している今、部屋の温度が上がるのを待っている余裕はありま...

Role 工場現場において、ソフトベークまたはハードベークでの熱逸脱は歩留まりに微小な影響を与えるだけでなく、致命的な損失をもたらす。Leyboldの真空ヒーターがドリフトし始めると、フォトレジストのプロファイルが崩れ、CD（クリティカルディメンション）の均一性が乱れ、エッチングバイアスが拡大する...