ファブ乾燥におけるエネルギー削減

ファブフロアでのエネルギー管理 乾燥トレインが消費するワット数は、細部にわたって検査されます。エネルギーコストが高くなりすぎて、フォトレジストの完全性に賭けるわけにはいきません。熱的均一性がずれると、ライン幅の制御や欠陥性能が崩壊するのを目の当たりにします。私たちは、プロセスラインをゼロトレランス...