もうヒーターを待っているだけの時代は終わりました。カーボンファイバー式赤外線ランプの利点をご紹介します。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風による加熱が使われています。もちろん、対流による加熱も有効ですが、速度が遅すぎます。つまり、部品を温めるために大量の空気を加熱する必要があるのです。これ...

半導体製造工場における炭素削減：なぜIR乾燥が効果的なのか 半導体製造工場について言えば、エネルギー代は途方もないほど高額です。その主な原因の一つが乾燥工程です。長年、従来の対流式オーブンを使ってきましたが、カーボンニュートラルを目指すなら、もはやそれでは不十分です。 これは、単にパンフレットを良...

クラス100の環境を常に清潔に保つために クラス100の環境では、わずかなほこりの粒子でさえも大問題です。もし加熱要素から微粒子やガスが放出されていると、それはまるでワッフルをゴミ箱に捨てているようなものです。 通常のコイルや安価なセラミックヒーターでは不十分です。これらはすぐに剥がれたり、漏れた...

ウェーハ処理中に赤外線ランプが破損する心配をやめましょう。 大量生産の半導体製造プロセスにおいて、赤外線ランプの破損は単なる停止時間の問題ではありません。それは本当に悪夢のような状況です。 石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、破片や微粒子がウェーハ全体に散らばります。1つの不良なランプが...

揮発性化学物質を加熱する際の安全対策 半導体工場を運営している方なら、その状況はよくご存知でしょう。洗浄工程では、可燃性の溶剤や揮発性の試薬が大量に使用されます。このような環境で、通常の赤外線ランプを使うのは、まさに火災を招く行為です。 これは非常に大きなリスクです。そこで、私たちは異なる方法を採...

導入 実は、私たちがこのような高温加熱ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、厳しい環境下での連続稼働に耐えられるようにするためです。 これらは市販品ではありません。産業用の加熱環境で、日々激しい状況下で使用されるために特別に設計されています。何よりも重視したのは、材料です。信頼性の...

7×24時間稼働する製造ラインでは、ランプが故障しただけでは済まされません。熱的な安定性が失われたり、フォトレジストの特性が変化したりして、再作業が必要になります。クォーツガラス製のシールドは、シフトを重ねても露光や加熱処理の精度を保つための重要な要素です。 実際に重要なのは何か 私たちは高純度の...

ファブフロアでのエネルギー管理 乾燥トレインが消費するワット数は、細部にわたって検査されます。エネルギーコストが高くなりすぎて、フォトレジストの完全性に賭けるわけにはいきません。熱的均一性がずれると、ライン幅の制御や欠陥性能が崩壊するのを目の当たりにします。私たちは、プロセスラインをゼロトレランス...