クラス100の環境を常に清潔に保つために
クラス100の環境では、わずかなほこりの粒子でさえも大問題です。もし加熱要素から微粒子やガスが放出されていると、それはまるでワッフルをゴミ箱に捨てているようなものです。
通常のコイルや安価なセラミックヒーターでは不十分です。これらはすぐに剥がれたり、漏れたりしてしまい、すべてを台無しにしてしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
石英が優れている理由
私たちが使用しているのは、非常に純度の高い融凝石英です。最大の利点は、高温になってもガスが漏れ出ない点です。石英の外殻がタングステンフィラメントをしっかりと閉じ込めてくれるので、金属酸化物の粒子やその他の不純物が漏れ出ることはありません。
そして最も良い点は、このランプは対流ではなく放射によって熱を供給する点です。つまり、作業対象物の周りに空気を送る必要がないので、厄介な微粒子が所定の場所に留まり、機器を汚染することはありません。
電力の強さと注意点
これらのランプは高いワット密度を持っています。そうすることで、機器が部屋の半分を占領する必要がなくなります。電圧を上げると、即座に熱が発生します。そのおかげでPID制御が迅速かつ正確に機能し、目標温度に到達するのに数秒しかかかりません。本当に速いのです。
しかし、注意点もあります。その大量の熱は石英管に大きな負荷を与えます。もし取り付けブラケットが少しずれていたり、管を強く押し付けていると、石英管が割れてしまいます。ですから、ハウジングが材料が拡張できる十分なスペースを提供していることを確認してください。
ファブ内での設置方法
これらのランプは、そのまま交換可能に設計されています。面倒な作業は一切不要です。標準的なコネクタを使用しているので、簡単に接続できます。特別なはんだ付け作業も必要ありません。つまり、鉛やフラックスが空間を汚染する心配もありません。
また、石英の表面は滑らかに研磨されているので、「ホットスポット」が発生することもありません。そのおかげで、300mmのウェーハが均一に加熱されます。
最後に、電源にも気をつけてください。電圧が急激に変動すると、フィラメントが早く破損してしまいます。電圧を安定させておけば、これらのランプは長持ちします。