ウェーハ加工ツール用温度センサー

方向性赤外線加熱：ウェーハ処理に必要な場所だけを適切に加熱し、オペレーターを傷つけない方法 半導体製造装置における問題点は、単純明快です。それは「不要な熱」の存在です。この不要な熱がエネルギーを奪い、コストを増加させ、装置の外部を危険な状態にしてしまいます。 私たちはこの問題を解決するために赤外線...