フォトレジスト前焼き赤外線ヒーター

ファブフロアでのリスク ファブフロアでは、リスクを理解しています。フォトレジストのソフトベーク中に1℃の変動があると、露光前に300mmのウェハーが廃棄されてしまう可能性があります。従来のホットプレートはエッジのロールオフに対抗しますが、熱遅れはロット間の再現性の問題を引き起こします。スピンコーテ...