クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

破片の飛散を防ぎ、クリーンルームをヒーターの故障から守る 大量のウェハを生産している場合、その恐ろしい状況は想像に難くありません。1つのランプが壊れるだけで、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。 問題は単に加熱が止まるだけではありません。石英管が壊れると、クリーンルームの真ん中でガラスの破片や...