なぜ、グリーン半導体の硬化処理に金メッキされた赤外線ランプを使用するのか？ 半導体業界では、鉛やVOCを含まない硬化処理が求められています。それは単に規則に従うだけではなく、プロセス全体をより効率的にするためです。問題は、従来の対流式オーブンがエネルギーを多く消費する点です。わずかな部品を温めるた...

なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターをやめる時が来たのか もし今もバスルームで古いタイプのヒーターを使っているなら、その不便さはご存知でしょう。実際、それらは単なる大きな電球に過ぎず、熱を発するだけです。問題は、本格的なシャワーの蒸気や水しぶきに耐えられない点です。すぐに壊れたり、腐食したりしま...

破片の飛散を防ぎ、クリーンルームをヒーターの故障から守る 大量のウェハを生産している場合、その恐ろしい状況は想像に難くありません。1つのランプが壊れるだけで、全体の製品が廃棄処分になってしまいます。 問題は単に加熱が止まるだけではありません。石英管が壊れると、クリーンルームの真ん中でガラスの破片や...

実際に長持ちするバスルーム用ヒーターを作るには 正直に言って、バスルームというのは電子機器にとって最悪の環境です。濃い蒸気や水しぶき、そして常に高い湿度があります。これらはヒーターを壊すのに最適な条件です。通常、その湿気が内部に入り込み、電気接点を腐食させ、クォーツガラス管が本来の寿命よりも早く壊...

蒸し暑いバスルームで、鏡用ヒーターを長く使い続けるための方法 正直に言うと、バスルームは電子機器にとって最悪の環境です。至る所に濃い水蒸気があり、時々水が飛び散ります。ほとんどの赤外線ランプにとって、これは致命的です。回路がショートしたり、ガラスが壊れてしまったりします。 私たちはそのことを知って...

化学洗浄室で熱を利用する際には、安全を確保することが重要です。率直に言って、赤外線ランプを化学洗浄用の台の真上に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が充満した部屋の中に高温源があるのですから。 標準的な石英管を使用する場合、何か問題が起こるのを待つだけです。わずかなひび割れや配...

もうヒーターを待っているだけの時代は終わりました。カーボンファイバー式赤外線ランプの利点をご紹介します。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風による加熱が使われています。もちろん、対流による加熱も有効ですが、速度が遅すぎます。つまり、部品を温めるために大量の空気を加熱する必要があるのです。これ...

ウェーハの洗浄・乾燥処理を最大限に活用するために 洗浄ステーションを運用する際の目標は、ごくシンプルです。つまり、ウェーハを素早く完全に乾燥させることです。その際、基板上の物質が変質したり、表面に不純物が付着したりしてはいけません。 そのために、私たちは防水機能を持つ赤外線ランプを使用します。しか...

なぜほとんどのパティオヒーターが故障するのか（そして私たちがどう対処したか） もしIP55等級の赤外線ヒーターが突然動かなくなったことがあるなら、おそらく問題は発熱素子にあるわけではありません。ほとんどの場合、問題は接続部のシール部分にあります。 実際のところ、これらのヒーターは過酷な環境で使われ...

グローブボックス内を加熱しても爆発しないようにする方法 正直に言うと、可燃性の洗浄溶剤が入ったグローブボックスの中に赤外線ヒーターを入れるのは、非常に危険な行為です。ちょっとした火花や表面温度の急上昇があれば、瞬時に火災が発生してしまいます。通常の石英ランプでは、このような環境では使えません。 私...

もし、湿気の多い場所に埋め込み式の赤外線ヒーターを設置するなら、それはまるで湿度と戦うようなものです。これは非常に困難な戦いです。蒸気や水滴の影響で、単に短絡するだけでなく、ヒーター自体にも大きな負担がかかります。 湿気への対処策 私たちが製品を作る際には、電子部品が湿気にさらされないようにしてい...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているのであれば、その大変さはご存知でしょう。ほんの微小なほこりや破片でも、大量のウェーハや医療用インプラントを台無しにしてしまいます。本当にストレスが溜まります。 このような環境では...

シャードの発生を防ぐ：IR加熱装置におけるランプの破損対策 高負荷でウェーハの製造を行っている場合、その恐怖はよくわかるでしょう。1つのランプが破損するだけで、全体の生産ラインが停止してしまいます。問題は単なる停止だけではありません。クォーツの破片や金属片が至る所に散らばり、シリコンウェーハが汚染...

安全を確保する：蒸気が立ち込めるバスルームでの赤外線ヒーターの使用 バスルームの高い天井に赤外線ヒーターを設置するのは、一見すると贅沢なことのように思えます。しかし、配線の観点から見ると、それはかなり厄介な問題です。 考えてみてください。バスルーム内には至る所に水蒸気や結露があります。水があると、...

真空状態での赤外線ランプの爆発を防ぐ方法 真空内で赤外線ヒーターを使用すると、物理的な状況が変わってしまいます。通常の空気中では、ランプの周りにあるガスが電流が正しい場所に留まるのを助けてくれます。しかし、真空状態になると、その保護メカニズムはなくなってしまいます。その結果、電気アークが発生するリ...

目を傷つけないバスルーム用ヒーターの作り方 バスルームの天井に赤外線ヒーターを設置するときは、適切なバランスを見つける必要があります。シャワーから出た瞬間にすぐに温かさを感じられるようにしたいですが、まるで太陽を直視しているような強烈な光ではいけません。 特に子供や赤ちゃんにとっては重要です。彼ら...

防水型赤外線ヒーターの真の秘密（そして、なぜ通常は故障してしまうのか） もし、工業用テーブル上で防水型赤外線ヒーターを使ったことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。極端な高温と湿気との間で絶えず戦い続ける必要があります。 問題は、導線が接続されている部分が、ほとんどの場合、最初に壊れてしまう...

スマートファブで適切な加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、従来の加熱方法ではもはや不十分だということがお分かりでしょう。従来の抵抗式ヒーターは反応が遅すぎます。生産ライン全体がデジタル化され、超高速で動作している今、部屋の温度が上がるのを待っている余裕はありま...

不良なランプが全体の製品を台無しにするのを防ごう バイオセンサーの製造においては、精度が何よりも重要です。しかし、悪夢のような事態も起こり得ます。つまり、1つのランプが壊れるだけで、作ったウェーハ全体が廃棄処分になってしまうのです。これはよくあることです。大量生産を行っていると、そのクォーツ管には...

空気を加熱するのをやめよう：熱負荷に対処するためのより良い方法 正直言って、従来の熱処理装置は、 essentially巨大なエネルギー消費源に過ぎません。半導体製造現場では、水分を除去したり部品を硬化させる必要がありますが、わずかなウェーハを処理するために大きなチャンバーを加熱するのは無駄です。...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために スマートセンサーを梱包する際には、「ほぼ清潔」では不十分です。汚染が一切あってはいけないのです。 問題は、ほとんどの加熱要素がクラス100の環境では厄介な存在だということです。これらの加熱要素からは微粒子が放出され、揮発性有機化合物も漏れ...

製造現場において、フォトレジストのベイク処理は「あれば良いもの」ではなく、不可欠な工程です。もしベイクの条件がわずかにずれてしまうだけで、ウェハ上の重要な寸法が変動してしまいます。また、ハードベイク時に均一性が失われると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、そのようなばらつきを抑えるためにセラ...

リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、回路の精度が悪くなってしまうことがあります。また、粒子の混入によって多くのウェーハが破損してしまうこともあります。ウェーハの加熱は、毎回、すべてのロットにおいて、再現性があり、迅速かつ正確に行われなければなりませ...

製造ライン上では、焼成プロファイルが数度程度ずれるだけで、ウェーハの寸法制御が乱れ、フォトレジストが剥がれてしまい、良品のウェーハがスクラップになってしまいます。私たちは、このような現実に対処するために、オゾンフリーの赤外線ランプを開発しました。目的は、熱変動が生じないように、安定した温度を維持す...

最終洗浄後にウェーハから水分が除去されていく様子を見れば、時間がどれだけ経過しているかがわかります。もし加熱が遅れたり、均一でなかったりすると、すぐに水滴の跡やフォトレジストの剥離、そして歩留まりの低下が起こります。私たちは、このような問題が発生する前にそれを防ぐために、ウェーハ乾燥用の赤外線ヒー...

ファブフロアでのリスク ファブフロアでは、リスクを理解しています。フォトレジストのソフトベーク中に1℃の変動があると、露光前に300mmのウェハーが廃棄されてしまう可能性があります。従来のホットプレートはエッジのロールオフに対抗しますが、熱遅れはロット間の再現性の問題を引き起こします。スピンコーテ...

赤外線ルームヒーター：ハロゲン放射熱が体の内側からどのように温めるか 冬になると、どれだけ靴下を重ねても手足が氷の塊のように冷たく感じることがあります。 その理由はこうです。寒くなると、体は安全を優先します。体の中心部を温かく保つために、血液を手足から引き上げます。理にかなっていますが、不快です。...