ウェーハ硬化ランプ用反射板

ウェハの硬化処理における電気的安全性について話しましょう。 ウェハを硬化処理する際には、均一に熱が分布することと、電気漏れが一切ないことの2つが不可欠です。これを実現するために、硬化ランプには高反射率のケースが使われ、IRエネルギーを必要な場所に正確に送り込むのです。 しかし、問題点もあります。こ...