ウェハの硬化処理における電気的安全性について話しましょう。
ウェハを硬化処理する際には、均一に熱が分布することと、電気漏れが一切ないことの2つが不可欠です。これを実現するために、硬化ランプには高反射率のケースが使われ、IRエネルギーを必要な場所に正確に送り込むのです。
しかし、問題点もあります。このシステムは高電圧で動作するため、ランプと反射器が接する部分が最も問題が起きやすい場所となります。
なぜ各装置を必ずテストするのか？
私たちは「バッチサンプリング」は行いません。それは、ハードウェアを危険にさらすような行為です。代わりに、すべてのランプや反射器は、工場を出る前に十分な耐電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。
なぜかというと、絶縁体に微小な穴があったり、反射器にほこりが付着しているだけで、弧光放電が発生してしまうからです。クリーンルームでは、短絡は単なる迷惑行為にとどまりません。電源装置が壊れたり、一括してウェハがダメになってしまう可能性もあります。それは誰も望まない悪夢です。
絶縁に関する詳細
私たちが最も重視するのは、加熱要素と接地されたシャーシとの間の隙間です。この隙間を高電圧でテストし、絶縁体が十分に耐えられるかを確認します。
目的は単純です。フィラメント内の電流を保持し、装置の枠外に流れないようにすることです。もしメーガオーム試験に合格しなければ、その装置は廃棄されます。私たちはその装置を修理したり、機能させようとはしません。ただ捨て去るだけです。
知っておくべきトレードオフ
高反射率コーティングは熱効率を高めるのに有効ですが、扱いには注意が必要です。適切に塗装されていないと、接地回路に影響を与えてしまいます。確かに熱密度は上がりますが、静電気の蓄積に対処できるだけの十分な接地が必要です。私たちは、反射器の形状と厳格な電気的隔離を調整するのに多くの時間を費やしています。
最後に、これらの装置をチャンバーに接続する際は、隙間に注意してください。隙間が狭すぎると、空気層がなくなってしまいます。適切な隙間がなければ、絶縁体に問題が生じた時に弧光放電が起こります。
少し余裕を持たせておく方が安全です。