なぜ、グリーン半導体の硬化処理に金メッキされた赤外線ランプを使用するのか？ 半導体業界では、鉛やVOCを含まない硬化処理が求められています。それは単に規則に従うだけではなく、プロセス全体をより効率的にするためです。問題は、従来の対流式オーブンがエネルギーを多く消費する点です。わずかな部品を温めるた...

なぜ、金メッキされたツインチューブ型の赤外線ランプが半導体の硬化処理にとって重要なのか 半導体業界では、鉛を含まない、かつ炭素排出量が少ない乾燥方法が求められています。問題は、従来の対流式オーブンがエネルギー消費が多いことです。部品自体を加熱する代わりに、部品の周囲の空気を加熱するのに多くの時間が...

化学洗浄室で熱を利用する際には、安全を確保することが重要です。率直に言って、赤外線ランプを化学洗浄用の台の真上に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が充満した部屋の中に高温源があるのですから。 標準的な石英管を使用する場合、何か問題が起こるのを待つだけです。わずかなひび割れや配...

もうヒーターを待っているだけの時代は終わりました。カーボンファイバー式赤外線ランプの利点をご紹介します。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風による加熱が使われています。もちろん、対流による加熱も有効ですが、速度が遅すぎます。つまり、部品を温めるために大量の空気を加熱する必要があるのです。これ...

ウェーハの洗浄・乾燥処理を最大限に活用するために 洗浄ステーションを運用する際の目標は、ごくシンプルです。つまり、ウェーハを素早く完全に乾燥させることです。その際、基板上の物質が変質したり、表面に不純物が付着したりしてはいけません。 そのために、私たちは防水機能を持つ赤外線ランプを使用します。しか...

不良なランプが全体の製品を台無しにするのを防ごう バイオセンサーの製造においては、精度が何よりも重要です。しかし、悪夢のような事態も起こり得ます。つまり、1つのランプが壊れるだけで、作ったウェーハ全体が廃棄処分になってしまうのです。これはよくあることです。大量生産を行っていると、そのクォーツ管には...

なぜ私たちがついにUHP赤外線硬化装置を採用するのか？ 正直に言えば、従来の半導体の乾燥・硬化方法はかなり煩雑です。巨大な対流オーブンや有害な化学薬品を使う必要があり、もはや適切な方法とは言えません。そのため、超高純度のUHP赤外線ランプが広く採用されています。なぜでしょうか？それは、よりクリーン...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ高精度なアルミニウム反射板が重要なのか 半導体製造工場を運営している人なら、この問題をよく理解しているでしょう。エネルギーの無駄遣いと常に戦っているのです。その多くのエネルギーは、人々が見過ごしがちな場所で失われてしまいます。つまり、赤外線が機械のケース内に漏れ出してし...

ウェハの硬化処理における電気的安全性について話しましょう。 ウェハを硬化処理する際には、均一に熱が分布することと、電気漏れが一切ないことの2つが不可欠です。これを実現するために、硬化ランプには高反射率のケースが使われ、IRエネルギーを必要な場所に正確に送り込むのです。 しかし、問題点もあります。こ...

製造ライン上では、焼成プロファイルが数度程度ずれるだけで、ウェーハの寸法制御が乱れ、フォトレジストが剥がれてしまい、良品のウェーハがスクラップになってしまいます。私たちは、このような現実に対処するために、オゾンフリーの赤外線ランプを開発しました。目的は、熱変動が生じないように、安定した温度を維持す...

7×24時間稼働する製造ラインでは、ランプが故障しただけでは済まされません。熱的な安定性が失われたり、フォトレジストの特性が変化したりして、再作業が必要になります。クォーツガラス製のシールドは、シフトを重ねても露光や加熱処理の精度を保つための重要な要素です。 実際に重要なのは何か 私たちは高純度の...

ファブフロアでは、サーマルバジェットは単なる提案ではなく契約である。ウェーハ全体で0.5℃の変動があるだけで、クリティカル寸法が変化し、ドーピングプロファイルが乱れ、数時間のリソグラフィ作業が無駄になる。RTPでは、その契約はハロゲンランプで成り立っている。 実際に重要なポイント 短波長の赤外線を...

ランプがMattson RTP装置で切れると、単なるダウンタイム以上の問題になります。熱予算を失い、フォトレジストのベイクプロファイルがずれ、突然パーティクル異常によるロット廃棄のリスクに直面します。プロセスの再認証を強いる代替策は必要ありません。元のランプと全く同じ動作をする交換品が必要です。...

ファブフロアでは、ランプの故障はダウンタイムではなくスクラップを意味します。ASMLのリソグラフィランプの性能が低下すると、ソフトベイクがずれ、ライン幅制御が乱れ、歩留まりに影響が出ます。これらのASMLリソグラフィランプの予備品は、熱予算を正確に保持するよう設計されており、24時間365日稼働時...