もうヒーターを待っているだけの時代は終わりました。カーボンファイバー式赤外線ランプの利点をご紹介します。
依然として、多くの半導体製造ラインで熱風による加熱が使われています。もちろん、対流による加熱も有効ですが、速度が遅すぎます。つまり、部品を温めるために大量の空気を加熱する必要があるのです。これはエネルギーの無駄遣いであり、時間的にも大きな負担になります。
一方、カーボンファイバー式赤外線ランプは異なります。部屋全体を温めるのではなく、エネルギーを直接対象物に送り込みます。
重要なのは速度です。
熱風を使う場合、チェンバーが十分に温まるまで待たなければなりません。しかし、カーボンファイバー式赤外線ランプなら、数秒で目標温度に到達します。これを「即時加熱」と言います。
大量生産の工場を考えてみてください。10分かかっていた予熱時間を30秒に短縮できれば、大きなボトルネックが解消されます。ブロワーが動くのを待つ必要もなく、光子が直接対象物に当たります。
なぜカーボンファイバーを使うのか？
通常の金属フィラメントを使うと、精密な作業を行う際にすぐに壊れてしまいます。しかし、カーボンファイバーは違います。高い電流密度に耐えられ、熱を均等に分散させます。これにより、ウェーハや基板が歪むことが防げます。また、中波～短波の領域にエネルギーがあるため、熱が材料の中に浸透します。単に空気中を漂うだけではありません。
正直なデメリットもあります
ヒーターを交換しただけでは不十分です。応答速度が速くなるため、PIDコントローラーの調整が必要です。センサーの精度も非常に重要です。フィードバックループに遅れがあると、温度が過剰に上昇し、部品が破損する可能性があります。少しの調整が必要です。
また、配置にも注意が必要です。IRアレイは、巨大なダクトやブロワーよりもずっと少ないスペースで済みます。ただし、視界が遮られていると効率が大幅に低下します。