AFM 原子間力顕微鏡 用ヒーター

リソグラフィーの現場では、サンプルの温度がわずか0.5度だけ変動しても、AFMのスキャンはうまくいきません。フォトレジストの挙動や、その後の処理もすべて熱によって制御されます。もしヒーターが0.1℃未満の精度で設定温度を維持できない場合、それは測定というよりも単なる推測に過ぎません。 技術的に重要...