なぜ、グリーン半導体の硬化処理に金メッキされた赤外線ランプを使用するのか？ 半導体業界では、鉛やVOCを含まない硬化処理が求められています。それは単に規則に従うだけではなく、プロセス全体をより効率的にするためです。問題は、従来の対流式オーブンがエネルギーを多く消費する点です。わずかな部品を温めるた...

スパークが本来あるべき場所に留まるようにする：ヒーター用熱電対の絶縁性能 半導体加熱を行う際には、「十分に良い」というだけでは不十分です。正確な温度測定が求められます。私たちは専用の熱電対を使用して温度を監視しますが、実際に問題となるのは電気的な絶縁性です。 高電圧環境では、電流が本来あってはいけ...

なぜ私たちは大きなオーブンを使わずにIRキュアリングを採用するのか 半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンを使わなくなっています。その主な理由は、「無鉛化」や「環境に優しいエネルギーの利用」といった目標を達成するためですが、実際の理由はもっとシンプルです。つまり、昔の方法は非効率的だからで...

はじめに クリーンルーム用のヒーターについて話しましょう。半導体の高度な加工プロセスにおいて、これは単なる加熱装置ではありません。実際には、プロセス全体において不可欠な役割を果たす重要な機器なのです。 私たちは、従来の遅くて非効率的な熱風循環方式を捨て、直接赤外線を利用する方法を採用しました。なぜ...

クリーンルームを常に清潔に保つことが大切です。半導体製造においては、クラス100のクリーンルームでは、わずかなほこり一つで全てが台無しになってしまいます。そのため、強力で集中した熱が必要な場合、適当なヒーターを使うわけにはいきません。汚染を起こさないようなヒーターが必要なのです。 私たちが開発した...

製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃ほどの温度変動があるだけで、良品であったはずのウェーハが廃棄物になってしまいます。ウェーハはそのまま待機状態にあります。スケジュールも乱れ、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、このような損失が発生する前にそれを防ぐための半導体加工用ヒーターを...