製造現場では、フォトレジストの焼成を単に温度で判断するわけではありません。むしろ、稼働時間や粒子数の増加がないか、何千枚ものウェーハ全体でCD値が一定であるかといった点を重視します。もし焼成用ヒーターの性能が低下したり故障したりすると、生産ラインが停止してしまい、製品やエネルギーが無駄になってしま...

ファブフロアでのリスク ファブフロアでは、リスクを理解しています。フォトレジストのソフトベーク中に1℃の変動があると、露光前に300mmのウェハーが廃棄されてしまう可能性があります。従来のホットプレートはエッジのロールオフに対抗しますが、熱遅れはロット間の再現性の問題を引き起こします。スピンコーテ...