洗浄用防水赤外線ランプ

ウェーハの洗浄・乾燥処理を最大限に活用するために 洗浄ステーションを運用する際の目標は、ごくシンプルです。つまり、ウェーハを素早く完全に乾燥させることです。その際、基板上の物質が変質したり、表面に不純物が付着したりしてはいけません。 そのために、私たちは防水機能を持つ赤外線ランプを使用します。しか...