無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金製の反射板が重要か ウェーハ処理において、無駄になる1ワットのエネルギーは、単純にお金の無駄です。さらに悪いことに、その余分な熱がチャンバーの壁面に影響を与え、望ましくない汚染の原因にもなり得ます。 一般的なヒーターは、エネルギーが本来必要な場所以外に漏れ出...

半導体製造工場における炭素削減：なぜIR乾燥が効果的なのか 半導体製造工場について言えば、エネルギー代は途方もないほど高額です。その主な原因の一つが乾燥工程です。長年、従来の対流式オーブンを使ってきましたが、カーボンニュートラルを目指すなら、もはやそれでは不十分です。 これは、単にパンフレットを良...

なぜ私たちは大きなオーブンを使わずにIRキュアリングを採用するのか 半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンを使わなくなっています。その主な理由は、「無鉛化」や「環境に優しいエネルギーの利用」といった目標を達成するためですが、実際の理由はもっとシンプルです。つまり、昔の方法は非効率的だからで...

私たちが目指したのは、高価ではない、信頼性の高い赤外線暖房機を作ることでした。この製品は、パティオや店舗内、または家の中の風の通りやすい場所でも、快適な暖かさを提供し、電気代の心配や、壊れやすい機器の管理の手間も省けます。 内部構造について この電気式赤外線ヒーターは、放射熱を利用しているため、空...

ファブフロアでのエネルギー管理 乾燥トレインが消費するワット数は、細部にわたって検査されます。エネルギーコストが高くなりすぎて、フォトレジストの完全性に賭けるわけにはいきません。熱的均一性がずれると、ライン幅の制御や欠陥性能が崩壊するのを目の当たりにします。私たちは、プロセスラインをゼロトレランス...