無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金製の反射板が重要か
ウェーハ処理において、無駄になる1ワットのエネルギーは、単純にお金の無駄です。さらに悪いことに、その余分な熱がチャンバーの壁面に影響を与え、望ましくない汚染の原因にもなり得ます。 一般的なヒーターは、エネルギーが本来必要な場所以外に漏れ出してしまいます。私たちは、より良い方法を見つけました。それが金をコーティングした反射板です。熱が四方八方に散逸する代わりに、その熱をウェーハに戻すのです。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。物理的な理由からです。 金は赤外線を反射する能力が非常に高く、通常のアルミニウムやステンレス鋼よりもずっと優れています。高純度の金層を反射板にコーティングすることで、本来逃げてしまう光子を再びターゲットに向けて戻すことができます。 その結果、熱の集中が図られ、ウェーハの温度上昇時間も大幅に短縮されます。実に効果的です。
熱と電力の管理
シリコンウェーハを正確で均一な温度に保ちたい場合、密度が重要になります。 私たちは、熱源と基材の間の距離をできるだけ短くしています。エネルギーが集中するため、全体的な消費電力を減らしながらも、目標とする表面温度を達成することができます。 しかし、注意点があります。冷却システムをしっかり管理しなければなりません。 あまりに多くのエネルギーを一点に集中させると、反射板自体が損傷します。冷却システムがその負荷に対応できなければ、センサーの数値が変動し、精度が失われてしまいます。
器械の安定した運転を保つ
停止時間は大敵です。そのため、私たちは迅速に交換できるような装置を作りました。 しかし、効率的に機能させるための真の秘訣は、清潔さです。金は素晴らしい素材ですが、ほこりや酸化は大敵です。表面が汚れると、ウェーハにホットスポットが生じます。 厳格な清掃スケジュールを守りましょう。摩耗性のない溶剤を使用し、コーティングを傷つけないようにしてください。金層が薄くなると、効率が低下します。そのため、補償として電力を増やさざるを得ず、結果としてランプの寿命が短くなってしまいます。