方向性赤外線加熱：ウェーハ処理に必要な場所だけを適切に加熱し、オペレーターを傷つけない方法 半導体製造装置における問題点は、単純明快です。それは「不要な熱」の存在です。この不要な熱がエネルギーを奪い、コストを増加させ、装置の外部を危険な状態にしてしまいます。 私たちはこの問題を解決するために赤外線...

導入 実は、私たちがこのような高温加熱ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、厳しい環境下での連続稼働に耐えられるようにするためです。 これらは市販品ではありません。産業用の加熱環境で、日々激しい状況下で使用されるために特別に設計されています。何よりも重視したのは、材料です。信頼性の...