マットソンRTPランプ交換

ランプがMattson RTP装置で切れると、単なるダウンタイム以上の問題になります。熱予算を失い、フォトレジストのベイクプロファイルがずれ、突然パーティクル異常によるロット廃棄のリスクに直面します。プロセスの再認証を強いる代替策は必要ありません。元のランプと全く同じ動作をする交換品が必要です。...