Role 工場現場において、ソフトベークまたはハードベークでの熱逸脱は歩留まりに微小な影響を与えるだけでなく、致命的な損失をもたらす。Leyboldの真空ヒーターがドリフトし始めると、フォトレジストのプロファイルが崩れ、CD（クリティカルディメンション）の均一性が乱れ、エッチングバイアスが拡大する...

ファブフロアでは、ランプの故障はダウンタイムではなくスクラップを意味します。ASMLのリソグラフィランプの性能が低下すると、ソフトベイクがずれ、ライン幅制御が乱れ、歩留まりに影響が出ます。これらのASMLリソグラフィランプの予備品は、熱予算を正確に保持するよう設計されており、24時間365日稼働時...