製造現場では、フォトレジストの焼成を単に温度で判断するわけではありません。むしろ、稼働時間や粒子数の増加がないか、何千枚ものウェーハ全体でCD値が一定であるかといった点を重視します。もし焼成用ヒーターの性能が低下したり故障したりすると、生産ラインが停止してしまい、製品やエネルギーが無駄になってしまいます。
私たちが作ったもの、そしてその重要性 私たちは、短波赤外線素子と石英強化型の断熱構造を用いてこのフォトレジスト焼成用ヒーターを開発しました。これにより、ウェーハ全体で±0.1℃の精度で均一な温度制御が可能になります。ヒーター本体はクリーンルームクラス1～100に適合しており、密閉された接続部と低ガス放出設計により、粒子の発生を完全に抑えています。
また、ソフトベイクでもハードベイクでも、温度の再現性が高く、露光条件も安定しています。24時間365日連続して使用しても問題が起こらず、耐腐食性の高い構造や適切な温度勾配によって、ストレスによる劣化も防げます。
リソグラフィーにおける重要性 リソグラフィーにおいては、焼成温度がフォトレジストの流動性や残留溶剤、エッチングの選択性を決定します。このヒーターを使えば、ロットごとに一貫した焼成プロファイルを実現でき、再作業を減らし、CD値の管理をより正確に行うことができます。
さらに、エネルギー消費も削減されます。ヒーターは設定温度に迅速に到達し、オーバーシュートすることなくその温度を維持するため、ウェーハ1枚あたりのコストが削減されます。また、交換頻度が少なくなるため、メンテナンスの中断も少なくなり、工程の中断も減ります。
設置時及び運用時に注意すべき点 設置時には、ホットプレートとの正確な位置合わせや、クリーンルーム環境に適した電力供給・制御回路が必要です。ケーブルの接続が不正確だと、ノイズが発生し、均一性の問題が生じる可能性があります。
また、チャンバ内の空気流れが安定しており、周囲の温度が指定範囲内にある場合に、ヒーターの性能は最も良くなります。±0.1℃の精度を維持するためには定期的な校正が必要ですが、実際には長期間にわたって安定した動作が続いています。私たちの製品は、何万時間にもわたって安定した動作を続けており、粒子の発生もありません。