ウェーハのソルダーマスク乾燥

実際には、はんだマスクの乾燥処理というのは、単なる緩やかな加熱ではありません。それは明確な条件であり、変更の余地がないのです。 1.5℃の温度変動があると、ウエハ全体の厚みが不均一になり、次のリソグラフィ工程が中断されてしまいます。欠陥のない製品を作りたいのであれば、この加熱装置は一定の仕様で動作...