クリーンルームを常に清潔に保つことが大切です。半導体製造においては、クラス100のクリーンルームでは、わずかなほこり一つで全てが台無しになってしまいます。そのため、強力で集中した熱が必要な場合、適当なヒーターを使うわけにはいきません。汚染を起こさないようなヒーターが必要なのです。
私たちが開発した高純度石英製の赤外線ヒーターは、まさにそのような厳しい状況用に作られています。ここでは、清潔さは単なる目標ではなく、唯一の選択肢なのです。
小型ながらも高性能
これらのヒーターは、スペースが限られている状況での高性能を実現しています。通常、400Vで動作し、300mmの管の中に2500Wのパワーが込められています。これは、狭い範囲に集中した非常に強力な熱量です。その結果、対象物を素早く加熱でき、機械全体が高温になる心配もありません。
半導体装置ではスペースが貴重なため、意図的にコンパクトなデザインになっています。
秘訣：高純度石英
このヒーターの核心は、石英製のケースです。金属製のケースを持つヒーターとは異なり、高純度石英は、急激に加熱されたり冷却されたりしても粒子を放出しません。また、赤外線発振素子はハロゲン式であるため、すぐに動作し、安定した性能を発揮します。
フィラメントを封じ込め、時間が経つにつれて破損する可能性のある hot spot を防ぐために、石英表面にコーティングを施しています。電気接続にはR7sやSK15コネクタを使用しています。これらは耐久性が高く、高温下でもしっかりと接続されます。わずかな動きもなく、溶けることもありません。信頼できる強固な接続です。
実際の現場向けに設計されている
半導体製造において、このヒーターは、従来の赤外線ヒーターの代替品として最適です。ウェーハの処理や接着、テストなどで必要な熱を供給しつつ、汚染物質を混入させることはありません。
しかし、注意すべき点もあります。そうした高い出力密度によって、重大な熱が発生します。狭い場所で2500Wのヒーターを使用する場合、機械の空気流れや冷却機能が十分でなければ、部品が早期に故障する危険があります。
これは、清潔な環境で高出力を利用する代償です。熱に対策を講じれば、心配することなく高性能な動作が得られます。