クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もし、クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているのであれば、その大変さはご存知でしょう。ほんの微小なほこりや破片でも、大量のウェーハや医療用インプラントを台無しにしてしまいます。本当にストレスが溜まります。
このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題となります。なぜなら、時間が経つにつれてガスが放出されたり、表面が剥がれ落ちたりするからです。私たちは、高純度の石英製の赤外線ランプと金製の反射器を組み合わせることで、この問題を解決しました。
なぜ金なのか？
一般的にはアルミニウム製の反射器が使われます。安価ではありますが、酸化してしまいます。つまり、徐々に劣化し、微小な粒子が生産ラインに混入してしまいます。一方、金は化学的に安定しているため、そのままの状態を保ちます。また、金は赤外線を優秀に反射します。そのため、熱が外に逃げず、必要な場所、つまり加工対象物に直接届きます。その結果、ランプの出力を下げても目標温度を達成できます。これは非常に効率的です。
石英について
ランプの外装には、融合シリカ製の石英が使用されています。これは耐久性が高く、激しい温度変化にも耐えられます。高純度のため、加熱時に金属成分や異常なガスが漏れ出る心配もありません。
しかし、注意点があります。石英に指紋が付くと、熱の集中が起こります。これが原因でランプが早期に故障することがあります。設置する前に、フリーな手袋を着用しましょう。そうすれば、後で苦労することはありません。
お使いの設備での利用方法
これらのランプは、強力な方向性のある熱を発生させます。金製の反射器のおかげで、熱の集中度が非常に高くなります。必ず冷却ファンをしっかり確認してください。もし熱がランプの端から逃げないようにしなければ、密封部分が壊れてしまいます。
これらのランプは、既存のIRランプの代替品として作られているので、そのまま取り付けることができます。ただし、電源のワット数や電圧が適切であることを確認してください。そうでないと、光の揺らぎや不均一な熱分布が発生します。誰も、勤務中にそんな問題に直面したくはありませんよね。