
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素にあります。
一般的なIRランプは、シール部分が安価な接着剤や低品質な金属で固定されています。加熱や冷却を繰り返すと、これらの材料が劣化してしまいます。剥がれたり、ガスが発生したりします。そして、重要な環境下では、これは大惨事につながります。
私たちは、そうした問題を解決するために、安価な部品を使わず、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを使用しています。
なぜこれが効果的か
一般的な発光体では、電極とガラスが接する部分から微細な粒子が漏れ出します。半導体や医療機器を製造する場合、わずか数個の粒子でも、大量のウェーハを台無しにしてしまいます。これは本当に悩ましい問題です。
私たちが使用しているのは、時間が経っても劣化しない合成石英です。さらに、セラミック製のエンドキャップは、発光体を守る役割を果たします。剥がれたり、煙を出したり、化学物質を空気中に放出したりすることはありません。純粋な熱だけが得られます。
難点(完璧なものはないから)
エンドキャップには高密度のアルミナセラミックが使用されています。これは非常に耐久性が高く、タングステンフィラメントと外部の配線との間の急激な温度変化にも耐えられます。しかし、一つ難点があります。セラミック製のエンドキャップを使用しているため、発光体の長さがやや長くなります。購入する前に、筐体のスペースを確認してください。取り付けブラケットが狭すぎると、石英に機械的な負荷がかかり、ランプが壊れてしまいます。
設置方法
これらは、既存のIRアレイの代替品として使用できます。最も良い点は、シール処理の際に、すべての有機系のバインダーやフラックスを除去していることです。そのため、工業用ランプでよく見られる不快な煙が発生しません。
ちなみに、初めて使用する際は、約1時間ほど低電圧で動作させておくと良いでしょう。これにより、セラミックと石英の接合部が安定し、最大出力での動作が可能になります。これは、ランプの寿命を延ばすための小さな工夫です。