
ファブの清掃:なぜIR硬化法に切り替えるのか
正直言って、従来の対流式オーブンというのはもう時代遅れです。大型で、処理速度も遅く、化学薬品を使った乾燥方式を採用しているため、今日の環境基準には合致しません。そのため、私たちは認証済みの赤外線(IR)硬化ランプを使用するようになりました。これにより、無鉛化の基準を満たしながら、世界的な環境規制にも対応できます。
大きな違いは何かというと、IRランプは部品周辺の空気を加熱する必要がない点です。電磁波を利用して乾燥を行うのです。
エネルギーの使われ方
通常のオーブンを考えてみてください。金属製のケースや内部の空気を加熱するために、大量の電力が消費されます。これは無駄遣いです。
一方、IR硬化法では、直接被加工物を対象にします。エネルギーを調整して、フォトレジストやはんだペーストの吸収帯に当てるのです。これにより、迅速に乾燥できます。1枚のウェーハを乾燥させるために部屋全体を加熱する必要はありません。熱は必要な場所にだけ留まるため、エネルギー代や環境負荷が大幅に削減されます。
不要なものを排除する
無鉛はんだを使用するのは簡単ではありません。無鉛合金は、従来の鉛を含むはんだよりもはるかに高い温度が必要です。もしガス式オーブンを使ってその温度に達そうとすれば、CO2やNOxが大気中に放出されます。
IR硬化法は純粋に電気を利用するため、グリーンパワーグリッドに接続していれば、使用時の二酸化炭素排出量はほぼゼロです。燃焼もなく、加熱要素からVOCも漏れ出しません。まさにクリーンで効率的な処理方法です。
注意点(完璧な方法は存在しない)
しかし、単純にヒーターを取り除いてIRランプを設置すれば済むというわけではありません。IR熱は方向性があるため、部品の形状が複雑だったり、深い部分がある場合、光が届かない「冷えた場所」ができてしまいます。ランプの配置や反射板の角度を慎重に調整する必要があります。
また、電力消費にも注意が必要です。高出力のIRランプは多くの電力を消費します。ランプが作動したときの急激な電力増加に対応できるように、電気系統をしっかり準備しておく必要があります。そうでなければ、朝から断路器が作動してしまいます。