왜 우리는 녹색 반도체를 경화시키는 데 금으로 코팅된 근적외선 램프를 사용하는가? 반도체 산업은 납이나 VOC가 없는 방식으로 제품을 경화시키려고 노력하고 있습니다. 이는 단순히 규칙을 준수하는 문제가 아니라, 공정 자체를 개선하는 문제입니다. 문제는 기존의 대류식...

스파크가 있어야 할 곳에 그대로 두기: 히터용 온도 센서의 절연 성능 반도체 가열 시에는 “충분히 정확하다”는 것만으로는 부족합니다. 극도로 정확한 측정이 필요합니다. 우리는 특수한 온도 센서를 사용하여 온도를 정확하게 측정하지만, 진짜 문제는 바로 전기적 절연입니다...

왜 우리는 전통적인 오븐 대신 적외선을 이용하는가? 반도체 산업은 마침내 그런 구식 대류식 오븐들을 버리고 있습니다. 그 이유는 우리 모두가 ‘무연화’와 친환경 에너지 사용이라는 목표를 추구하기 때문입니다. 하지만 진짜 이유는 더 간단합니다. 기존의 방식은 효율성이...

서론 이제 클린룸용 트롤리 히터에 대해 알아보도록 하겠습니다. 반도체 정밀 가공 분야에서 이 제품은 단순히 열을 내는 장치에 불과한 것이 아닙니다. 이는 실제로 중요한 역할을 하는 핵심적인 장비입니다. 우리는 기존의 느리고 비효율적인 열 공급 방식을 버리고, 적외선을...

클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 것이 중요합니다. 반도체 제조 과정에서는 클래스 100 등급의 클린룸에서 단 하나의 먼지 입자만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 그러므로 강력한 열이 필요할 때는 아무런 히터나 사용할 수 없습니다. 오염을 일으키지 않는 히터가 필...

팹 내에서는 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 양질의 제품이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 웨이퍼들은 그저 기다릴 뿐입니다. 일정도 지연되고, 입자 수도 증가합니다. 우리는 이러한 손실을 미리 막기 위해 반도체 처리용 히터를 개발했습니다....