클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 것이 중요합니다. 반도체 제조 과정에서는 클래스 100 등급의 클린룸에서 단 하나의 먼지 입자만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 그러므로 강력한 열이 필요할 때는 아무런 히터나 사용할 수 없습니다. 오염을 일으키지 않는 히터가 필요합니다.
우리는 바로 이러한 까다로운 상황을 위해 고순도 석영로를 사용한 적외선 히터를 만들었습니다. 여기서는 청결함이 단순히 목표가 아니라, 유일한 선택지입니다.
작은 크기에도 강력한 성능
이 히터들은 공간이 제한된 환경에서도 최고의 성능을 발휘합니다. 일반적인 히터는 400V의 전압을 사용하여 300mm 직경의 Tube 안에 2500W의 전력을 담아냅니다. 이는 작은 공간에 집중된 엄청난 열량입니다. 그 결과, 전체 기계가 뜨거워지는 것을 방지하면서도 원하는 부분을 빠르게 가열할 수 있습니다.
반도체 장비에서는 공간이 매우 소중하기 때문에 의도적으로 컴팩트한 디자인을 채택했습니다.
비결: 순수한 석영
이 히터의 핵심은 석영 소재입니다. 금속 외장 히터와 달리, 고순도 석영은 빠르게 가열되고 냉각될 때에도 입자를 방출하지 않습니다. 또한 적외선 소자는 할로겐 기반이어서 즉시 작동하며 안정적으로 작동합니다.
석영 표면에 코팅을 하여 필라멘트가 밖으로 나오는 것을 막고, 시간이 지남에 따라 장비가 손상될 수 있는 문제를 방지합니다. 전기 연결을 위해서는 R7s나 SK15 같은 커넥터를 사용합니다. 이 커넥터들은 내구성이 뛰어나고 고온에도 견딜 수 있으며, 안정적인 연결을 보장합니다.
실제 환경에 적합한 설계
반도체 제조 과정에서 이 히터는 기존의 적외선 히터보다 더 효과적인 대안이 됩니다. 웨이퍼 처리, 접합, 테스트 등에 필요한 열을 처리할 수 있으며, 오염물질을 추가하지 않습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이렇게 높은 전력 밀도로 인해 엄청난 열이 발생합니다. 만약 2500W의 히터를 좁은 공간에 사용한다면, 기계의 공기 흐름과 냉각 시스템이 충분해야 합니다. 그렇지 않으면 부품들이 조기에 손상될 수 있습니다.
이것이 바로 깨끗한 환경에서 고출력을 사용할 때의 대가입니다. 열 문제를 미리 고려한다면, 걱정 없이 최고의 성능을 얻을 수 있습니다.