파편을 막아내는 방법: MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 MEMS 제조 공장에서는 적외선 램프가 단순히 성가신 존재가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다. 만약 석영관이 과도한 부하를 견디지 못한다면 어떻게 될까요? 그렇게 되면 램프가 폭발하여 웨이퍼 표면에 작...

클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 클린룸을 운영할 때, 웨이퍼를 가열하는 과정에서 생기는 조금의 먼지나 기체도 단순한 성가심에 그치지 않습니다. 이는 심각한 문제가 될 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황을 감당할 수 없습...

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 스마트 센서를 포장할 때는 “거의 깨끗한” 상태로는 충분하지 않습니다. 오염이 전혀 없어야 합니다. 단호합니다. 문제는 대부분의 가열 요소들이 클래스 100 환경에서는 큰 문제가 된다는 것입니다. 이러한 가열 요소들...

방향성 적외선 가열: 웨이퍼 처리 과정에서 필요한 부위에만 열을 공급하여 작업자들이 화상을 입지 않도록 하는 방법 반도체 장비의 문제점은 간단합니다. 바로 불필요한 열입니다. 이 불필요한 열은 에너지를 낭비시키고 비용을 증가시킬 뿐만 아니라, 장비의 외부 부분을 위험...