왜 우리는 녹색 반도체를 경화시키는 데 금으로 코팅된 근적외선 램프를 사용하는가? 반도체 산업은 납이나 VOC가 없는 방식으로 제품을 경화시키려고 노력하고 있습니다. 이는 단순히 규칙을 준수하는 문제가 아니라, 공정 자체를 개선하는 문제입니다. 문제는 기존의 대류식...

왜 금 도금 처리된 트윈 튜브형 적외선 램프가 반도체 경화 과정에 중요한지 반도체 산업은 유무연 및 탄소중립적인 건조 방식을 추구하고 있습니다. 문제는, 기존의 대류식 오븐들이 에너지를 많이 소비한다는 점입니다. 이러한 오븐들은 부품 자체보다는 주변 공기를 가열하는...

화학 세척실에서 열을 사용할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 적외선 램프를 화학 세척대 바로 위에 설치하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 가연성 가스가 가득한 공간에 고온의 열원이 위치한다는 것이죠. 일반적인 석영관을 사용한다면, 문제가 생기기만을...

더 이상 히터를 기다리지 마세요: 탄소섬유 IR의 장점 아직도 너무 많은 반도체 생산 라인들이 공기 순환 방식을 사용하고 있습니다. 물론 대류 방식도 효과적이긴 하지만, 속도가 너무 느립니다. 결국 공기를 가열시켜서 그 공기로 부품을 가열하는 셈이죠. 이는 에너지 낭...

웨이퍼 세척 및 건조 과정을 최대한 효과적으로 활용하는 방법 세척 과정에서의 목표는 매우 간단합니다. 즉, 웨이퍼를 빠르게 완전히 건조시키면서도, 웨이퍼가 손상되거나 표면에 이물질이 남지 않도록 하는 것입니다. 이를 위해 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용합...

하나의 고장 난 램프로 인해 전체 제품이 버려지는 것을 막아야 합니다. 바이오 센서 제조에서는 모든 것이 정밀도에 달려 있습니다. 하지만 문제는, 단 한 개의 램프만 고장 나도 전체 웨이퍼들이 폐기물이 되어버린다는 점입니다. 고부하 생산 환경에서는 그 석영관들이 엄청...

왜 우리가 마침내 UHP 적외선 경화 방식으로 전환하는가? 솔직히 말해서, 반도체를 건조하고 경화시키는 기존의 방식은 꽤 엉망진창입니다. 낡은 대류식 오븐과 유해한 화학물질들 때문에, 이제는 더 이상 그런 방식을 사용할 수 없습니다. 우리는 점점 더 초고순도(UHP)...

열 낭비를 막으세요: 정밀한 알루미늄 반사체가 왜 중요한가 반도체 공장을 운영하는 사람이라면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 에너지 낭비와의 싸움은 끊임없이 이어집니다. 그리고 이러한 낭비는 종종 사람들이 간과하는 곳에서 발생합니다. 바로 적외선이 기계의 케이스...

와이어 처리 과정에서의 전기 안전에 대해 이야기해 보겠습니다. 와이어를 처리할 때는 두 가지가 필요합니다. 바로 완벽하게 골고루 퍼지는 열과 전기 누설이 전혀 없는 상태입니다. 이를 위해 우리는 고반사율을 가진 케이스를 사용하여 IR 에너지가 정확히 필요한 곳으로 전...

7×24시간 가동되는 생산 라인에서는, 램프가 고장났다고 해서 그냥 멈추는 것이 아닙니다. 열적 안정성이 깨지고, 포토레지스트의 성질도 변하게 되어, 다시 작업을 반복해야 합니다. 석영 유리로 만들어진 이 보호 장치는, 반복적인 열주기에도 불구하고 노출 및 가열 에너...

공정 현장에서 열 예산은 제안이 아니라 계약이다 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5℃의 온도 변동만으로도 임계 치수가 이동하고, 도핑 프로파일이 어긋나며, 수시간의 리소그래피 작업이 무용지물이 된다. RTP에서는 이 계약이 할로겐 램프에서 운영된다. 핵심적으로 중요한 부분 우...

램프가 Mattson RTP 장비에서 고장 나면 단순한 가동 중단 이상의 문제입니다. 열 예산을 잃게 되고, 포토레지스트의 베이크 프로필이 변화하며, 갑자기 파티클 발생이 심해져 로트를 폐기할 위험에 직면하게 됩니다. 공정을 재검증해야 하는 임시 방편이 필요하지 않습...

Fab 라인에서 램프 고장은 가동 중단이 아니라 곧 폐기다. ASML 리소그래피 램프가 성능 저하를 보이면 소프트 베이크가 변동되고, 라인폭 제어에 문제가 생기며 수율에 영향을 미친다. 우리는 이 ASML 리소그래피 램프 예비 부품을 열 예산을 정확히 유지하도록 설계...