왜 우리가 마침내 UHP 적외선 경화 방식으로 전환하는가?
솔직히 말해서, 반도체를 건조하고 경화시키는 기존의 방식은 꽤 엉망진창입니다. 낡은 대류식 오븐과 유해한 화학물질들 때문에, 이제는 더 이상 그런 방식을 사용할 수 없습니다. 우리는 점점 더 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하고 있습니다. 왜냐하면 이 램프들은 더 깨끗하고, 더 빠르며, 환경에도 해를 끼치지 않으면서도 작업 속도를 저하시키지 않기 때문입니다.
공기를 가열하는 것을 중단하세요
대류식 오븐의 경우, 웨이퍼가 열을 느끼기 전에 먼저 공기와 기계의 벽면을 가열해야 합니다. 이는 낭비일 뿐입니다.
반면, UHP 적외선 램프는 달라요. 짧은 파장의 복사 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 중간 단계가 없으며, 에너지도 낭비되지 않습니다.
게다가, VOC를 배출하는 용매 기반의 재료도 필요 없습니다. 그래서 엄격한 환경 검사도 훨씬 수월해집니다.
깨끗함을 유지하기
클린룸에서는 아주 작은 양의 가스도 큰 문제가 될 수 있습니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영관을 사용합니다. 이를 통해 금속성 불순물이 웨이퍼에 닿지 않도록 합니다.
가장 좋은 점은 속도입니다. 몇 초 만에 원하는 온도에 도달할 수 있습니다. 웨이퍼를 오랫동안 열에 노출시킬 필요가 없으므로, 얇은 기판도 변형되지 않습니다. 정말 다행입니다.
단점도 있습니다
물론, 이 램프들도 단점이 있습니다. 열 밀도가 매우 높기 때문입니다. 빠른 경화에는 좋지만, 전력 공급 및 냉각 시스템에 상당한 부담을 줍니다.
냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 기기 내부의 열이 밖으로 유출될 수 있습니다. 따라서 인프라가 충분히 강력해야 합니다.
전환하는 방법
만약 여전히 기존의 저항식 히터를 사용하고 있다면, 이 램프들은 그냥 교체하기만 하면 됩니다.
분명히 큰 차이가 있습니다. 건조 시간이 분에서 초로 줄어듭니다. 기계의 크기도 줄어들고, 전기 요금도 절감됩니다. 그리고 더 이상 자신의 장비와 싸울 필요 없이 친환경적인 기준을 충족할 수 있습니다.