레이볼드 진공 히터 예비 부품
제조 현장에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 열적 변동은 수율에 단순히 영향을 미치는 것이 아니라, 그것을 파괴합니다. Leybold 진공 히터가 드리프트를 시작하면 포토레지스트 프로파일이 붕괴되고, CD 균일성이 흔들리며, 에칭 바이어스가 발생합니다. 우리는...
ASML 리소그래피 램프 예비 부품
Fab 라인에서 램프 고장은 가동 중단이 아니라 곧 폐기다. ASML 리소그래피 램프가 성능 저하를 보이면 소프트 베이크가 변동되고, 라인폭 제어에 문제가 생기며 수율에 영향을 미친다. 우리는 이 ASML 리소그래피 램프 예비 부품을 열 예산을 정확히 유지하도록 설계...