클린룸 오븐 적외선 히터

파편의 위험을 막아라: 히터 고장으로부터 클린룸을 보호하기 고부하의 웨이퍼 생산을 하고 있다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 단 한 개의 램프만 고장 나도 전체 웨이퍼가 폐기되는 것입니다. 문제는 단순히 열이 멈추는 것뿐만이 아닙니다. 석영관이 고장나면 마치...