포토레지스트 프리베이크 적외선 히터

팹 플로어에서의 이해 여기서 stakes는 분명합니다. 포토레지스트 소프트 베이크 동안 1°C의 변동은 노출 단계에 도달하기 전에 300mm 웨이퍼를 스크랩할 수 있습니다. 기존의 핫플레이트는 엣지 롤오프에 대항하고, 열 지연은 로트 간 반복성 문제를 계속 발생시킵니...