RTP 시스템용 할로겐 램프

공정 현장에서 열 예산은 제안이 아니라 계약이다 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5℃의 온도 변동만으로도 임계 치수가 이동하고, 도핑 프로파일이 어긋나며, 수시간의 리소그래피 작업이 무용지물이 된다. RTP에서는 이 계약이 할로겐 램프에서 운영된다. 핵심적으로 중요한 부분 우...